臭氧产品 Ozone Products

SEMOZON® 臭氧发生器

SEMOZON Ozone GeneratorSEMOZON Ozone GeneratorSEMOZON Ozone Generator
  • SEMOZON® AX8407 高浓度、高流量臭氧发生器。最大臭氧产出量为350克/小时,最大流量为40slm。
  • SEMOZON®AX8407C 紧凑型臭氧发生器。最大臭氧产出量为105克/小时,最大流量为10slm。
  • SEMOZON® AX8410 超纯净、超高浓度、超高流量臭氧发生器。。最大臭氧产出量为375克/小时,最大流量为80slm。

SEMOZON® 臭氧发生器集成系统

O3MEGA Ozone Delivery SubsystemSEMOZON AX8560SEMOZON AX8550
  • O3MEGA® AX8561 桌上型/标准机柜安装集成流量、压力控制的臭氧发生器系统
  • SEMOZON® AX8560 桌上型/标准机柜安装臭氧发生器系统
  • SEMOZON® AX8550 单独柜式二通道臭氧发生器集成系统
  • SEMOZON® AX8555 单独柜式四通道臭氧发生器集成系统
  • SEMOZON® AX8575 单独柜式多通道臭氧发生器集成系统,可集成冷却水交换器。
  • SEMOZON® AX8585 单独柜式多通道臭氧发生器集成系统,供先进工艺制程。

LIQUOZON®臭氧水循环系统广泛应用于CVD,去胶和湿法清洗等工艺。

LIQUOZON Smart Ozone Water Delivery SystemLIQUOZON SingleLIQUOZON HeliO3
  • LIQUOZON® Smart 臭氧水递送系统。提供高浓度(114ppm@5LPM)、大流量(80LPM@22ppm)臭氧水
  • LIQUOZON® Single 臭氧水递送系统。紧凑型设计,适合于单片硅片清洗系统。提供高浓度(95ppm@2LPM)、大流量(20LPM@30ppm)臭氧水
  • LIQUOZON® PrimO3 臭氧水循环递送系统。高浓度(115ppm@2LPM)、大流量(60LPM@30ppm),可带循环水泵,主要用于硅片清洗工艺
  • LIQUOZON® HeliO3 臭氧水循环递送系统。高浓度(45ppm@10LPM)、大流量(60LPM@14ppm),带循环水泵,主要用太阳能电池片清洗和氧化物生长。
  • LIQUOZON® Stream 臭氧水循环递送系统。高浓度(115ppm@5LPM)、大流量(140LPM@25ppm),主要用于平板显示器清洗工艺

臭氧消毒

LIQUOZON Ultra Ozone Sanitization of DI Water Loop and Storage TankEO3 Ozone Sanitation Generator & System
  • LIQUOZON® Ultra 臭氧水循环及储存罐。这是臭氧自动注入系统,用于工艺用水系统、储存罐和管路清洗工艺。
  • EO3 消毒用臭氧发生器。一款带滑动底座的用于消毒的臭氧发生器,每天可提供0.5-3磅的臭氧。

万机仪器 (上海) 有限公司

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