MKS Instruments Deutschland GmbH, ehemals MKS Deutschland - Berlin

Die Firma wurde 1984 als SORBIOS - Verfahrenstechnische Geräte und Systeme - GmbH gegründet. Seit den Anfängen lag der Schwerpunkt auf der Entwicklung und Fertigung von Ozongeneratoren und Luftionisationsgeräten.

Während in den ersten Jahren die Ozongeneratoren vorwiegend für die Wasser- und Abwasserbehandlung konzipiert wurden, lag der Schwerpunkt seit 1996 in der Verwendung von Ozontechnologien für diverse Produktionsschritte in der Halbleiter-, Flatpanel-, und Solarindustrie.

Diese Fokussierung wurde intensiviert, nachdem die Fa. SORBIOS im Jahre 1997 durch die Fa. ASTeX, Inc. (Massachusetts, USA) übernommen wurde. Im Zuge dieser Akquisition wurde der Name in ASTeX GmbH geändert.

Dieser Firmenname wurde auch beibehalten, nachdem die ASTeX, Inc. durch die Fa. MKS Instruments, Inc, (MA, USA) übernommen worden war. Dort ist die ASTeX GmbH ein Teil der ASTeX Products Group, , welche seit Juli 2015 in MKS Plasma & Reactive Gas Solutions umbenannt wurde.

Durch das starke Wachstum expandierte der Berliner Standort und beschäftigt heute ca. 55 Mitarbeiter.

Nach einem Umzug, durch den die Produktionsfläche mehr als verdoppelt wurde, stehen heute modern ausgestattete Büros, Fertigungseinrichtungen und Labors zur Verfügung.

Den hohen Ansprüchen der Halbleiterindustrie entsprechend finden alle kritischen Fertigungs- und Testabläufe in Reinräumen mit einer Gesamtfläche von ca. 140 m2 statt.

Seit dem Jahre 1999 ist der Berliner Standort nach ISO 9001 zertifiziert und steuert alle Fertigungs- und Geschäftsprozesse nach einem detailliert festgelegten Qualitäts-managementsystem.

Schwerpunkt des Produktionsprogramms sind Anlagen, die Ozon gasförmig oder als in DI-Wasser gelöstes Ozon zur Verfügung stellen.

Der Vertrieb der MKS Plasma & Reactive Gas Solutions Reihe, ehemals ASTeX -GmbH Produkte wird durch die zahlreichen MKS Vertriebs- und MKS Service-Organisationen weltweit unterstützt. Zu den Kunden der ASTeX GmbH zählen die weltweit führenden Hersteller von Reinigungsanlagen für Wafer und FPD-Substrate und anderer Halbleiterkomponenten.

Aktuelle Adresse:

MKS Instruments Deutschland GmbH
Wattstr. 11-13
13355 Berlin

Tel. 030 / 464003-0
Fax: 030 / 464003-13

E-mail: mks-germany@mksinst.com

Web-Impressum:

Vertretungsberechtigter Geschäftsführer: Ralf Wüllner, Derek D'Antilio

Registergericht: Amtsgericht München, Registernummer: HRB 50 132

Umsatzsteuer-Identifikationsnummer gemäß § 27 a Umsatzsteuergesetz: DE 129 417 375

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