MKS Instruments, Japan

日本エム・ケー・エス株式会社 MKS Instruments

幅広い分野のための”インテグレーテッド”ソリューションを提供いたします。

MKS 製品案内

日本エム・ケー・エス株式会社

〒102-0073 東京都千代田区九段北4-1-28 九段ファーストプレイス6階
Tel: 03-3556-3293
Fax:03-3556-3294
E-mail: mks-japan@mksinst.com

サービス

MKS は世界各地のサービスセンターから修理・校正・テストなどのサービスを提供しております。国内の拠点は次の通りです:

東京サービスセンター

〒196-0003 東京都昭島市松原町2-12-11
Tel: 042-500-8825
Fax: 042-500-8829

サービス価格の改定について

2019年3月より修理価格が改定されました。従来の個別修理価格ではなく固定修理価格となります。
詳細につきましては以下の通りとなります。また従来実施しておりました事前見積りは固定修理価格に伴い廃止となります。

■PFMC(圧力計、バルブ、流量計)
依頼内容につきましては次の中からお選びください。

C1 = 校正:返却頂きました製品は再校正され返却されます。(圧力計の成績書等が必要な場合には別途費用が掛かります)

R1 = 修理:返却された製品の不具合症状の確認をし、故障箇所の修理を実施します。その後校正、検査を経て返却されます。また、交換した部品に90日間の保証が付きます。

E1 = 初期診断:この初期診断のみを依頼することが可能です。初期診断の内容により校正もしくは修理を進められる場合には、初期診断料金は請求されません。上記のR1修理価格のみとなります。

EX1 = 特急料金:緊急修理を必要とする場合には、特急料金が掛かります。

組校正が必要な場合にはお問い合わせください。

■電源
依頼内容につきましては次の中からお選びください。

R1 = 修理:返却された各電源製品の不具合症状の確認をし、故障箇所の修理を実施します。その後最終試験を経て返却されます。また、交換した部品に90日間の保証が付きます。

R3 = オーバーホール:返却された各電源製品の不具合症状の確認をし、故障箇所及びその他の推奨交換部位の交換を実施します。その後最終試験を経て返却されます。オーバーホールにはユニット全体に12ヶ月の保証が付きます。ただし、モデルによってはR3対象外となります。

E1 = 初期診断:この初期診断のみを依頼することが可能です。初期診断の内容により修理を進められる場合には、初期診断料金は請求されません。上記のR1もしくはR3の修理価格のみとなります。

EX1 = 特急料金:緊急修理を必要とする場合には、特急料金が掛かります。

■リモートプラズマソース
依頼内容につきましては次の中からお選びください。

R1 = 修理:返却された各種プラズマソース製品の不具合症状の確認をし、故障箇所の修理を実施します。その後最終試験を経て返却されます。また、交換した部品に90日間の保証が付きます。

R2 = プラズマブロック交換:返却された各種プラズマソース製品の不具合症状の確認をし、故障箇所の修理を実施し、プラズマブロックを新品に交換します。その後最終試験を経て返却されます。また、交換した部品に90日間の保証が付きます。

R3 = オーバーホール:返送された各種リモートプラズマソース製品の不具合症状の確認をし、故障箇所及びその他の推奨交換部位の交換を実施します。その後最終試験を経て返却されます。オーバーホールにはユニット全体に12ヶ月の保証が付きます。ただし、モデルによってはR3対象外となります。

E1 = 初期診断:この初期診断のみを依頼することが可能です。初期診断の内容により修理を進められる場合には、初期診断料金は請求されません。上記のR1、R2、もしくはR3の修理価格のみとなります。

EX1 = 特急料金:緊急修理を必要とする場合には、特急料金が掛かります。

サービス依頼方法とサービス依頼票

Cuプロセス(銅配線工程)に使用したスロットル(排気制御)バルブの洗浄が可能になりました。

対応可否につきまして、ご依頼時にお問い合せください。

※弊社では、米国の輸出規制対象品の取扱いが多いため、各製品取扱い代理店・販売店様には/resources安全貿易管理の観点から最終需要者様の情報提供をお願いしております。この情報がない場合、修理の遅延や作業に支障が生ずる場合もございますので、ご理解の程よろしくお願いいたします。

※該非判定書のご依頼は、弊社営業担当あるいは購入販売店様へ次の依頼書に必要事項をご記入の上ご依頼ください。
Excel ファイル

圧力計 & スロットルバルブ & アイソレーションバルブ & GP製品(ゲージ)
サービス依頼票 Excelファイル | PDFファイル

マスフローコントローラ(メーター) & フローコントロールバルブ
サービス依頼票Excelファイル | PDFファイル

エレクトロニクス製品 & コントロールユニット & GP製品(ゲージ以外)
サービス依頼票Excelファイル | PDFファイル

Power Solutions(ENI)製品
サービス依頼票Excelファイル | PDFファイル

Mass Spectrometry Solutions(SPECTRA他)製品
サービス依頼票Excelファイル | PDFファイル

Plasma and Reactive Gas Solutions(ASTeX)製品
サービス依頼票Excelファイル | PDFファイル

技術サポートお問い合わせ窓口

圧力測定、流量測定等製品群、電源/反応性ガス製品群 (ASTeX, ENI)、ガス分析(RGA)、コントロール/インフォメーションテクノロジー(CIT)等の製品群についてのお問合せをお受けいたします。  

尚、お問合せ内容に応じ、折り返しのご連絡になりますことご了承ください。

受付時間: 年中無休(24時間/日、7日/週)

Tel: 03-6759-2341

E-mail: mks-japan@mksinst.com

会社概要

社名: 日本エム・ケー・エス株式会社
設立: 1982年12月16日
資本金: 437,530,000円
代表取締役:  イ・ユンワン

所在地:

本社事業所:

〒102-0073 東京都千代田区九段北4-1-28 九段ファーストプレイス6階
人事部、財務経理部、IT、営業部

東京サービスセンター:

〒196-0003 東京都昭島市松原町2-12-11
サービス部、品質管理部、業務部(購買)