MKS Instruments, Japan

日本エム・ケー・エス株式会社 MKS Instruments

幅広い分野のための”インテグレーテッド”ソリューションを提供いたします。

MKS 製品案内

お知らせ


GP製品マニュアル添付の廃止について(2020年6月26日)
※補足資料(Excel)

サービス価格の改訂について(2020年4月1日)
サービス価格は、毎年4月に基本的に改定されますので、ご留意くださいますようお願い申し上げます。


日本エム・ケー・エス株式会社

〒102-0073 東京都千代田区九段北4-1-28 九段ファーストプレイス6階
Tel: 03-3556-3293
Fax:03-3556-3294
E-mail: mks-japan@mksinst.com

サービス

MKS は世界各地のサービスセンターから修理・校正・テストなどのサービスを提供しております。国内の拠点は次の通りです:

東京サービスセンター

〒196-0003 東京都昭島市松原町2-12-11
Tel: 042-500-8825
Fax: 042-500-8829

 

サービス依頼方法とサービス依頼票

Cuプロセス(銅配線工程)に使用したスロットル(排気制御)バルブの洗浄が可能になりました。

対応可否につきまして、ご依頼時にお問い合せください。

※弊社では、米国の輸出規制対象品の取扱いが多いため、各製品取扱い代理店・販売店様には/resources安全貿易管理の観点から最終需要者様の情報提供をお願いしております。この情報がない場合、修理の遅延や作業に支障が生ずる場合もございますので、ご理解の程よろしくお願いいたします。

※該非判定書のご依頼は、弊社営業担当あるいは購入販売店様へ次の依頼書に必要事項をご記入の上ご依頼ください。
Excel ファイル

圧力計 & スロットルバルブ & アイソレーションバルブ & GP製品(ゲージ)
サービス依頼票 Excelファイル | PDFファイル

マスフローコントローラ(メーター) & フローコントロールバルブ
サービス依頼票 Excelファイル | PDFファイル

エレクトロニクス製品 & コントロールユニット & GP製品(ゲージ以外)
サービス依頼票 Excelファイル | PDFファイル

Power Solutions(ENI)製品
サービス依頼票 Excelファイル | PDFファイル

Mass Spectrometry Solutions(SPECTRA他)製品
サービス依頼票 Excelファイル | PDFファイル

Plasma and Reactive Gas Solutions(ASTeX)製品
サービス依頼票 Excelファイル | PDFファイル

技術サポートお問い合わせ窓口

圧力測定、流量測定等製品群、電源/反応性ガス製品群 (ASTeX, ENI)、ガス分析(RGA)、コントロール/インフォメーションテクノロジー(CIT)等の製品群についてのお問合せをお受けいたします。  

尚、お問合せ内容に応じ、折り返しのご連絡になりますことご了承ください。

受付時間: 年中無休(24時間/日、7日/週)

Tel: 03-6759-2341

E-mail: mks-japan@mksinst.com

会社概要

社名: 日本エム・ケー・エス株式会社
設立: 1982年12月16日
資本金: 437,530,000円
代表取締役:  イ・ユンワン

所在地:

本社事業所:

〒102-0073 東京都千代田区九段北4-1-28 九段ファーストプレイス6階
人事部、財務経理部、IT、営業部

東京サービスセンター:

〒196-0003 東京都昭島市松原町2-12-11
サービス部、品質管理部、業務部(購買)