远程等离子体源 Remote Plasma Source

反应气体发生器

ASTRON� Paragon AX7700/AX7710 Reactive Gas Source ASTRON�ex AX7685 Remote Plasma Source ASTRON� G7 AX7667 High Flow Remote Plasma Source

ASTRON®系列远程等离子体源 基于NF3等含氟气体电离,产生活性气体,广泛地应用于CVD等工艺腔清洗,它具有功率大,效率高等特点。产品有:

等离子体电源用于晶圆工艺

R*evolution� III AX7695 Remote RF Plasma Source AX7610 Chemical Downstream Plasma Source

ASTeX®远程等离子体源 适用于O2、N2、H2、H2O等气体,广泛应用于CVD,ETCH,去胶等晶圆工艺。

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