射频和直流电源 RF & DC Power

射频功率电源

ENI® 提供高可靠的、紧凑的固态电源,其频率从2MHz到60MHz,功率从3百瓦至13千瓦,还可选自动频率调谐和脉冲输出,广泛地应用于Etch,CVD和PVD等工艺。

KEINOS� 2MHz 5kW, 11kW & 13kW RF Plasma Generators NOVA� 2 MHz 2.5kW & 5.0kW RF Plasma Generators

中频射频功率电源(2MHz)

  • KEINOS™ 系列,功率为5、11和13kW,脉冲输出、自动频率调谐可选。
  • NOVA® 系列,功率为2.5和5kW,自动频率调谐可选。
elite� Series 750, 600, & 300 Watt, 13.56 MHz, RF Plasma Generators GHW Series 13.56 MHz, 1.25, 2.5, and 5.0 kW, High-Reliability RF Plasma Generators

高频射频功率电源(13.56MHz)

  • elite 系列风冷电源,功率为300、600和750W。
  • GHW 系列电源,功率为1.25、2.5和5kW,自动频率调谐可选。

超高频射频功率电源(40.68-60MHz):

  • GEW 系列电源,功率为3.5kW,40.68MHz自动频率调谐可选。
  • LVF 系列电源,功率为3.5kW,60MHz自动频率调谐可选。

直流/脉冲功率电源

ENI®直流/脉冲电源主要应用于半导体,光电器件,磁盘,平板显示器等工业中的镀膜工艺。

Optima� DC Plasma Generator RPDG-50 5kW Pulsed DC Plasma Generator
  • Optima® 系列直流电源,其功率为5、10、20、30、40、60和80千瓦。
  • RPDG 系列脉冲直流电源,其功率为5、10和20千瓦,频率从50至250KHz,占空比从0至40%。

ENI®射频阻抗匹配器

MWH-100, 13.56MHz, 10kW Impedance Matching Network MW-3513, 13.56MHz, 3500W Impedance Matching Network MWH-5, 13.56MHz, 500W Impedance Matching Network
  • MWH-100 13.56MHz,10 千瓦网络射频阻抗匹配器。
  • MW3513 13.56MHz,3500 瓦网络射频阻抗匹配器。
  • MW2513 13.56MHz,2500 瓦网络射频阻抗匹配器。
  • MWD-25LD 13.56MHz,2500 瓦网络射频阻抗匹配器。
  • MWH-5 13.56MHz,500 瓦网络射频阻抗匹配

万机仪器 (上海) 有限公司

地址:上海市浦东新区金海路1000号 “金领之都”20(幢)西区1-5层
电话: 021-20308200
传真: 021-20308333

销售电邮:MKSSH-sales@mksinst.com
维修电邮:MKSSH-service@mksinst.com