残余气体分析仪(RGA)/质谱仪
Residual Gas Analysis/Mass Spectrometry

Microvision 2 Flexible, Integration-ready Residual Gas Analyzer (RGA) e-Vision 2 General Purpose Residual Gas Analyzer (RGA)
  • MicroVision 2 产品的技术是基于 MKS 残余气体分析质谱传感头和气体监控系统的核心技术, 利用最先进的射频电路模块和数据采集电路模块, 其拥有卓越的性能, 为要求最严格的应用所需;双CPU提供了高稳定的运行、快速和宽范围的动态扫描, 使得工艺偏差和气体成分改变的监测变得很容易及卓越的通讯功能。 灵活的输入输出性能,易与机台和其他传感器连接。质量数范围:1-300 可选,双检测器配置。
  • eVision™ 2 基于以太网口的低成本的残余气分析仪。 利用Web浏览器或通过 EasyView 软件方便地操作系统。质量数范围:1-200 可选,双检测器配置可选。

工艺监控

Vision 2000-B� Vacuum Baseline Monitor RGA Vision 2000-C� & Vision 2000-E� RGA for CVD and Etch HPQ3S High Pressure RGAs
  • TOOLweb® 工艺和工艺腔环境监测。
  • Vision 2000-B™ 真空本底残余气体分析仪。
  • Vision 2000-C™ 化学气相沉积 (CVD) 工艺残余气体分析仪。
  • Vision 2000-E™ 刻蚀 (Etch) 工艺残余气体分析仪。
  • Vision 2000-P™ 物理气相沉积 (PVD) 工艺残余气体分析仪。
  • 200/300mm Resist-Torr® 光刻胶监测器。
  • HPQ3 高压残余气体分析仪(低于1mTorr),主要用于PVD工艺气体检测。
  • HPQ3S 高压残余气体分析仪(低于8mTorr),主要用于PVD工艺气体检测。

大气压气体分析仪

Cirrus�3-XD Compact Benchtop and Rack-mounted Atmospheric Systems with V-lens� Technology Cirrus�2 Benchtop Atmospheric Pressure Gas Analysis System
  • Cirrus™ 3-XD 带 V-lens™ 技术的紧凑型四极质谱仪。 工作在大气压力下的桌上型或标准机柜安装型四极质谱仪,可用于在线测量和分析气体及气体组成。
  • Cirrus™ 2 四极质谱仪。 工作在大气压力下的桌上型四极质谱仪,可用于在线测量和分析气体及气体组成。可选多路气体输入选件及集成光学一氧化碳传感器

万机仪器 (上海) 有限公司

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