压力/真空控制 Pressure/Vacuum Control

集成Baratron® 的压力控制器

piPC PC90 Integrated Pressure Controller 649A/649B Compact Pressure Controller with Integral Baratron� Capacitance Manometer and Mass Flow Meter
  • piPC90 集成Baratron® 的压力控制器,集成压力显示器,可控制上游或下游压力。满量程范围:1000 Torr – 100psia,控制精度:满量程的±0.2%,通讯接口:DeviceNet、RS-485、模拟。
  • piPC99 集成Baratron® 的带流量监测的压力控制器,集成压力/流量显示器,可控制下游压力。压力满量程范围:1000 Torr – 100psia,流量满量程范围:10 – 30000sccm,控制精度:满量程的±0.2%,通讯接口:DeviceNet、RS-485、模拟。
  • 640B 绝对压力 / 641B 表读压力集成Baratron® 的压力控制器,可控制上游或下游压力。满量程范围:10 Torr – 100psia,控制精度:满量程的±0.2%。
  • 649B 集成Baratron® 的带流量监测的压力控制器,可控制下游压力。压力满量程范围:10 – 5000Torr,流量满量程范围:10 – 5000sccm,控制精度:满量程的±0.2%。
  • DPC 双区压力控制子系统。集成了气动隔离阀,双Baratron® 的带流量监测的闭环压力控制器。用于硅片背面氦气冷却系统。

上游压力控制阀和压力控制器

148J All-metal Control Valve 250E Gas Inlet Pressure/Flow Control Module 154A High Flow Control Valve
  • 148J 金属密封压力控制阀,流量范围:10 – 20000sccm。
  • 248A 橡胶密封压力控制阀,流量范围:10 – 50000sccm。
  • 154A 大流量橡胶密封压力控制阀,流量范围:20 – 200slm。
  • 250E 气体压力/流量控制器。其输入压力或流量信号,通过PID闭环控制模块,控制压力阀和(或)质量流量控制器
  • 1249A 压力控制阀驱动器

下游压力控制阀和压力控制器

T3Bi High Speed Exhaust Throttle Valve 253B Exhaust Throttle Valve 683B
  • T3BIA 集成了控制和驱动器的蝶式节流阀。其特点是能快速,能精确可靠地控制压力。阀具有良好的低流导甚至阀接近关闭位置的控制能力。自调谐功能使得阀能最快的响应和最小的过冲。模拟和数字(RS-232/DeviceNet)通讯口可选。阀的口径从KF-25到NW250可选。
  • 153D 集成了控制和驱动器的蝶式节流阀。
  • 683B 集成了控制和驱动器的蝶式节流阀,DeviceNet通讯口。
  • 253B/653B 蝶式节流阀 /高速蝶式节流阀。其特点是能快速,精确,可靠地控制压力。各种尺寸接口可选。可与651控制器配套使用。
  • 651C 自调谐 / 数字PID控制器。其能控制和驱动253/653节流阀。自调谐功能优化压力控制参数。
  • 1651C 自调谐 / 数字PID控制器。其能控制和驱动253/653节流阀。无控制面板
  • 656A 节流隔离阀 / 655A 节流隔离阀控制器。节流隔离阀的口径从KF-40到NW100可选。

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