流量测量、控制和验证
Flow Measurement, Control & Verification

G系列通用数字质量流量控制器

G-Series Thermal Mass Flow Controllers

通用数字质量流量控制器。精度为设定值的±1%、相应速度快于700毫秒、不同气体及量程间自由切换。1.5吋宽度(GM51A除外)。EtherNet用户通讯口方便地用于设置和诊断。各种模拟(0-5V或4-20mA)和数字(RS-485、DeviceNet、Profibus、EtherCAT、Modbus)通讯接口可选。

  • GE50A 橡胶密封数字质量流量控制器,满量程范围从5 sccm – 50 slm。
  • GM50A 金属密封数字质量流量控制器,满量程范围从5 sccm – 50 slm。
  • GV50A 带截止阀的橡胶密封数字质量流量控制器,满量程范围从5 sccm – 50 slm。
  • GM51A 金属密封数字质量流量控制器,1.125吋宽度,满量程范围从5 sccm – 50 slm
  • GM100A 金属密封数字质量流量控制器,1.125吋宽度,满量程范围100 slm

I系列工业用数字质量流量控制器

I-Series Thermal Mass Flow Controllers

通过IP66认证的工业用数字质量流量控制器。精度为设定值的±1%、相应速度快于700毫秒、不同气体及量程间自由切换。1.5吋宽度。EtherNet用户通讯口方便地用于设置和诊断。各种模拟(0-5V或4-20mA)和数字(RS-485、DeviceNet、Profibus、EtherCAT、Modbus)通讯接口可选。

  • IE50A 橡胶密封数字质量流量控制器,满量程范围从10 sccm – 50 slm。
  • IM50A 金属密封数字质量流量控制器,满量程范围从10 sccm – 50 slm。

P系列高性能金属密封数字质量流量控制器

P-Series Thermal Mass Flow Controllers

新一代多气体/多量程数字质量流量控制器。实时高精度流量控制是基于先进的数字算法技术,提供精度为设定值的±1%、相应速度快于500毫秒、不同气体及量程间自由切换的优异功能。1.125吋宽度。EtherNet用户通讯口方便地用于设置和诊断。各种模拟和数字(RS-485、DeviceNet、Modbus/TCP)通讯接口可选。

  • P2A 低压质量流量控制器,满量程范围从2 – 50 sccm。
  • P4B 多气体/多量程数字质量流量控制器,满量程范围从5 sccm – 50 slm。
  • P9B 多气体/多量程/压力不敏感数字质量流量控制器,满量程范围从5 sccm – 50 slm。

紧凑型通用数字质量流量控制器

MF-1 Mass Flow Controllers
  • MF-1 精度为设定值的±1%、800毫秒。满量程范围从10 sccm – 20 slm。各种模拟和数字(RS-485、Ether CAT、Profibus、modbus)通讯接口可选。

大流量数字质量流量控制器

IE1000A IP66-rated Mass Flow Controller
  • P250A 高性能金属密封大流量数字质量流量控制器,满量程范围从100 – 250 slm。
  • IM250A 工业用金属密封大流量数字质量流量控制器,满量程范围从100 – 250 slm。
  • IE250A 工业用橡胶密封大流量数字质量流量控制器,满量程范围从100 – 250 slm。
  • GE250A 橡胶密封大流量数字质量流量控制器,满量程范围从100 – 250 slm。
  • IE500A 工业用橡胶密封大流量数字质量流量控制器,满量程范围500 slm
  • IE1000A 工业用橡胶密封大流量数字质量流量控制器,满量程范围1000 slm
  • 1579A/579A 大流量数字质量流量控制器/质量流量监视器,其满量程范围从50–300 slm,模拟或Profibus通讯接口。

高温及基于压力的质量流量控制器

1152C Heated Pressure-based Mass Flow Controller
  • 1640A 基于压力质量流量控制器,适用于低压气路应用。
  • 1150C/1152C 加热的基于压力质量流量控制器,适用于黏滞气流应用

传统型热式质量流量控制器

ALTA MC20A Mass Flow Controller
  • ALTA™ MC20A 数字质量流量控制器,满量程范围从20 – 200 slm。模拟和DeviceNet通讯接口可选。

在线质量流量检验器

HA-MFV Mass Flow Verifier
  • Tru-Flo 质量流量检测器是一个紧凑型的诊断仪器。它在已知的腔体体积和温度的条件下,测量上升的压力来确定流量。
  • HA-MFV 高精度质量流量校验器是为在工艺设备上校准质量流量控制器而设计的。其精度可达读值的1%,并可以校验真实的工艺气体。HA-MFV的精度有非常显著地提高。HA-MFV对其延伸部分体积(从MFC到HA-MFV)及其变化都不敏感

流量比例控制器

DELTA Flow Ratio Controller

随着DELTA 流量比例控制器的使用,优化工艺结果将变得容易。它可将混合的工艺气体按比例分为两路以提高均匀性等工艺参数。比例可从1:1至1:20。

质量流量控制器电源和显示仪

247D Four Channel Power Supply/Readout
  • 246C/247D 单/四通道电源和显示仪。提供质量流量控制器电源,流量设置和流量显示。
  • PR4000B 单或双通道电源和显示仪。提供压力传感器和(或)质量流量控制器电源,流量设置和压力/流量显示。
  • 647C 四或八通道电源和显示仪。提供压力传感器和质量流量控制器电源,显示一路压力值,四路或八路流量设置和显示。PID控制选件可用于由压力信号来控制质量流量控制器或上游控制阀。

万机仪器 (上海) 有限公司

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