Ozon Technologie

SEMOZON®

Seit Anfang 1993 wird von uns die SEMOZON® Reihe, eine Serie hochleistungsfähiger partikelarmer Ozongeneratoren, kontinuierlich weiterentwickelt - eine speziell für die Anforderungen der Halbleiterproduktion entworfene Produktlinie.

LIQUOZON®

Seit 1997 sind die LIQUOZON® Systeme auf dem Markt. Sie stellen kontrolliert mit Ozon versetztes Reinstwasser zur Verfügung, zur einfachen und exakt dosierten Verwendung in Reinigungs- und Ätzprozessen.

Statische Mischer

Statische Mischer Typ 8 oder 12 ermöglichen eine effiziente Vermischung von Ozongas in Prozess-Flüssigkeiten wie UPW oder heisse Schwefelsäure für verschiedene Nassprozesse.

Ozonvernichter OVS

Für die Behandlung von ozonhaltiger Abluft werden unsere Ozonvernichter OVS2 bzw. OVS3 in verschiedenen Varianten angeboten. Sie vernichten Ozon auf katalytischem Wege zu Sauerstoff.

Ozonmessgeräte der Firma BMT

ASTeX ist der exklusive Vertriebspartner für den europäischen Halbleitermarkt für Ozonmessgeräte der Firma BMT.

Ein ausführliches Datenblatt über Ozondaten finden Sie hier.

Desweiteren werden von uns auch die Ozonprodukte der amerikanischen Mutterfirma ASTeX, Inc. für den europäischen Raum vertrieben.

Luftionisatoren

Die Sparte Luftionisation der ASTeX GmbH wurde März 2003 an die Firma ITM Berlin übertragen, die auch den weiteren Service für SORBIOSTAT Anlagen übernimmt.