压力测量及控制 Pressure Measurement & Control

Baratron® 薄膜电容式高精度压力传感器(温度控制在45℃)

• 690A高精度绝对压力传感器，满量程范围：0.1 – 25000Torr，精度：读数值的0.05%。
• 698A高精度差压式压力传感器，满量程范围:0.1 – 1000Torr，精度：读数值的0.05%。

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Baratron® 薄膜电容式压力传感器(工作在室温)

• 622B 绝对压力传感器，满量程范围：1 – 1000Torr，精度：读数值的0.25%。
• 626B 绝对压力传感器，满量程范围：0.1 – 1000Torr，精度：读数值的0.25%。
• 623B 绝对压力传感器(带继电器触点控制)，满量程范围：10 – 1000Torr，精度：读数值的0.25%。
• 722B 紧凑型绝对压力传感器，满量程范围:1 – 2500Torr，精度：读数值的0.5%。
• i-Baratron® DMB 带DeviceNet™通讯口的数字绝对压力传感器，满量程范围：0.1 – 1000Torr，精度：读数值的0.25%。

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Baratron® 薄膜电容式压力传感器(温度控制在45℃)

• 627D/629D 绝对压力传感器，满量程范围：0.02 – 2000Torr，精度：读数值的0.12%。
• E27D/E29D Etch专用绝对压力传感器，满量程范围：0.02 – 100Torr，精度：读数值的0.12%。
• 624D 绝对压力传感器(带继电器触点控制)，满量程范围：1 – 2000Torr，精度：读数值的0.12%。
• 727A 紧凑型绝对压力传感器，满量程范围：1 – 1000Torr，精度：读数值的0.5%。
• 627 e-Baratron® 带以太网通讯口的绝对压力传感器，满量程范围：0.1 – 1000Torr，精度：读数值的0.12%。
• E27C e-Baratron® 带以太网通讯口的 Etch专用绝对压力传感器，满量程范围：0.1 – 100Torr，精度：读数值的0.12%。
• i-Baratron® DMB 带DeviceNet™通讯口的数字绝对压力传感器，满量程范围：0.1 – 1000Torr，精度：读数值的0.12%。
• D27D/D24D 双量程绝对压力传感器/绝对压力传感器(带继电器触点控制)，满量程范围：1 – 1000Torr，精度：读数值的0.12%。

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Baratron® 薄膜电容式压力传感器(温度控制在100℃)

• 628D/629D绝对压力传感器，满量程范围：0.02 – 2000Torr，精度：读数值的0.25%。
• E28D/E29D Etch专用绝对压力传感器，满量程范围：0.02 – 100Torr，精度：读数值的0.25%。
• 625D 绝对压力传感器(带继电器触点控制)，满量程范围：1 – 2000Torr，精度：读数值的0.25%。
• 728A紧凑型绝对压力传感器，满量程范围：1 – 1000Torr，精度：读数值的0.5%。
• 628Ce-Baratron® 带以太网通讯口的绝对压力传感器，满量程范围：0.1 – 1000Torr，精度：读数值的0.25%。
• E28C e-Baratron® 带以太网通讯口的Etch专用绝对压力传感器，满量程范围：0.1 – 100Torr，精度：读数值的0.25%。
• i-Baratron® DMD 带DeviceNet™通讯口的数字绝对压力传感器，满量程范围：0.1 – 1000Torr，精度：读数值的0.25%。（温度控制在80℃）
• D28D/D25D 双量程绝对压力传感器/绝对压力传感器(带继电器触点控制)，满量程范围：1 – 1000Torr，精度：读数值的0.25%。

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Baratron® 薄膜电容式压力传感器(温度控制在100℃以上)

• 631C 高温型绝对压力传感器，满量程范围：1 – 1000Torr，精度：读数值的0.5%，温度控制在150 ℃ 或200 ℃ 。可选带继电器触点控制

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Baratron® 一般用途薄膜电容式压力传感器

• 740C 绝对压力 / 750C 表读压力紧凑型压力传感器，满量程范围：10Torr – 3000psi，精度：读数值的1%。输出信号：0-5V、0-10V、4-20mA可选。

高压力Baratron® 薄膜电容式压力传感器

• 870 单端连接式/872 气流通过连接式压力传感器，满量程范围：1000Torr – 3000psi，精度：读数值的1%。输出信号：0-5V、0-10V、4-20mA可选，集成压力显示器可选。

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Baratron® 差压式薄膜电容式压力传感器

• 226A 差压式压力传感器，满量程范围：0.02 – 1000Torr，精度：0.3%。
• 228A 差压式压力传感器(带继电器触点控制)，满量程范围：0.02 – 1000Torr，精度：0.3%。

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压力开关

• 41B 单端连接式表读压力 / 42B 气流通过连接式表读压力 / 51B单端连接式绝对压力 / 52B 气流通过连接式绝对压力压力开关，满量程范围：10Torr – 500psi，精度：0.5%。

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集成Baratron® 的压力控制器

• πPC90集成Baratron® 的压力控制器，集成压力显示器，可控制上游或下游压力。满量程范围：1000 Torr – 100psia，控制精度：满量程的±0.2%，通讯接口：DeviceNet™、RS-485、模拟。
• πPC99集成Baratron® 的带流量监测的压力控制器，集成压力/流量显示器，可控制下游压力。压力满量程范围：1000 Torr – 100psia，流量满量程范围：10 – 30000sccm，控制精度：满量程的±0.2%，通讯接口：DeviceNet™、RS-485、模拟。
• 640B 绝对压力 / 641B 表读压力集成Baratron® 的压力控制器，可控制上游或下游压力。满量程范围：10 Torr – 100psia，控制精度：满量程的±0.2%。
• 649B集成Baratron® 的带流量监测的压力控制器，可控制下游压力。压力满量程范围：10 – 5000Torr，流量满量程范围：10 – 5000sccm，控制精度：满量程的±0.2%。

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上游压力控制阀和压力控制器

• 148J 金属密封压力控制阀，流量范围：10 – 20000sccm。
• 248A 橡胶密封压力控制阀，流量范围：10 – 50000sccm。
• 154A 大流量橡胶密封压力控制阀，流量范围：20 – 200slm。
• 250E 气体压力/流量控制器。其输入压力或流量信号，通过PID闭环控制模块，控制压力阀和(或)质量流量控制器.

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下游压力控制阀和压力控制器

• T3PIA 集成了控制和驱动器的摆式压力控制阀。其特点是压力控制范围宽，速度快，能精确可靠地控制压力。阀具有良好的低流导甚至阀接近关闭位置的控制能力。自调谐功能使得阀能最快的响应和最小的过冲。模拟和数字（RS-232/DeviceNet™）通讯口可选。其还具有隔离阀的功能。阀的口径从100mm到320mm可选。
• T3BIA 集成了控制和驱动器的蝶式节流阀。其特点是能快速，能精确可靠地控制压力。阀具有良好的低流导甚至阀接近关闭位置的控制能力。自调谐功能使得阀能最快的响应和最小的过冲。模拟和数字（RS-232/DeviceNet™）通讯口可选。阀的口径从KF-25到NW250可选。

• 253B / 653B 蝶式节流阀 /高速蝶式节流阀。其特点是能快速，精确，可靠地控制压力。各种尺寸接口可选。可与651控制器配套使用。
• 651C 自调谐 / 数字PID控制器。其能控制和驱动253/653节流阀。自调谐功能优化压力控制参数。
• 656A 节流隔离阀 / 655A节流隔离阀控制器。节流隔离阀的口径从KF-40到NW100可选。

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压力传感器/质量流量控制器电源和显示仪

• PDR2000A 双通道电源和显示仪。提供压力传感器电源和压力显示。
• 660B 单通道电源和显示仪。提供压力传感器电源和压力显示。
• 246C / 247D 单/四通道电源和显示仪。提供质量流量控制器电源，流量设置和流量显示。
• PR4000B 单或双通道电源和显示仪。提供压力传感器和(或)质量流量控制器电源，流量设置和压力/流量显示。
• 647C 四或八通道电源和显示仪。提供压力传感器和质量流量控制器电源，显示一路压力值，四路或八路流量设置和显示。PID控制选件可用于由压力信号来控制质量流量控制器或上游控制阀。

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万机仪器 (上海) 有限公司

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