压力测量及控制 Pressure Measurement & Control

Baratron® 薄膜电容式高精度压力传感器 (温度控制在45℃)

• 690A 高精度绝对压力传感器， 满量程范围： 0.1 – 2500 Torr， 精度： 读数值的 0.05%。
• 698A 高精度差压式压力传感器， 满量程范围： 0.1 – 1000 Torr， 精度： 读数值的 0.05%。

Baratron® 薄膜电容式压力传感器 (工作在室温)

• 622A 绝对压力传感器， 满量程范围： 1 – 1000 Torr， 精度： 读数值的 0.15%。
• 626A 绝对压力传感器， 满量程范围： 0.1 – 1000 Torr， 精度： 读数值的 0.15%。
• 623A 绝对压力传感器 (带继电器触点控制)， 满量程范围： 10 – 1000 Torr， 精度： 读数值的 0.15%。

• 722A 紧凑型绝对压力传感器， 满量程范围:1 – 2500 Torr， 精度： 读数值的 0.5%。
• i-Baratron® DMA 带DeviceNet™ 通讯口的数字绝对压力传感器， 满量程范围： 0.1 – 1000 Torr， 精度： 读数值的 0.15%。

Baratron® 薄膜电容式压力传感器 (温度控制在45℃)

• 627B/629B 绝对压力传感器， 满量程范围： 0.02 – 1000 Torr， 精度： 读数值的 0.12%。
• E27B/E29B Etch 专用绝对压力传感器， 满量程范围： 0.02 – 100 Torr， 精度： 读数值的 0.12%。
• 624B 绝对压力传感器 (带继电器触点控制)， 满量程范围： 1 – 2000 Torr， 精度： 读数值的 0.12%。
• 727A 紧凑型绝对压力传感器， 满量程范围： 1 – 1000 Torr， 精度： 读数值的 0.5%。

• 627C/E27C e-Baratron® 带以太网通讯口的绝对压力传感器/ Etch专用绝对压力传感器， 满量程范围： 0.1 – 1000 Torr， 精度： 读数值的 0.12%。
• i-Baratron® DMA 带DeviceNet™ 通讯口的数字绝对压力传感器， 满量程范围： 0.1 – 1000 Torr， 精度： 读数值的 0.12%。
• D27B/D24B 双量程绝对压力传感器/绝对压力传感器 (带继电器触点控制)， 满量程范围： 1 – 1000 Torr， 精度： 读数值的 0.12%。

Baratron® 薄膜电容式压力传感器 (温度控制在100℃)

• 628B/629B 绝对压力传感器， 满量程范围： 0.02 – 1000 Torr， 精度： 读数值的 0.25%。
• E28B/E29B Etch 专用绝对压力传感器， 满量程范围： 0.02 – 100 Torr， 精度： 读数值的 0.25%。
• 625B 绝对压力传感器 (带继电器触点控制)， 满量程范围： 1 – 2000 Torr， 精度： 读数值的 0.25%。
• 728A 紧凑型绝对压力传感器， 满量程范围： 1 – 1000 Torr， 精度： 读数值的 0.5%。
• 628C/E28C e-Baratron® 带以太网通讯口的绝对压力传感器/ Etch专用绝对压力传感器， 满量程范围： 0.1 – 1000 Torr， 精度： 读数值的 0.25%。
• i-Baratron® DMA 带DeviceNet™ 通讯口的数字绝对压力传感器， 满量程范围： 0.1 – 1000 Torr， 精度： 读数值的 0.25%。 （温度控制在 80 ℃）
• D28B/D25B 双量程绝对压力传感器/绝对压力传感器 (带继电器触点控制)， 满量程范围： 1 – 1000 Torr， 精度： 读数值的 0.25%。

Baratron® 薄膜电容式压力传感器 (温度控制在 100 ℃以上)

• 631B 高温型绝对压力传感器， 满量程范围： 1 – 000 Torr， 精度： 读数值的 0.5%， 温度控制在 150 ℃或 200 ℃。 可选带继电器触点控制

Baratron® 差压式薄膜电容式压力传感器

• 223B 差压式压力传感器 (± 15V 电源)， 满量程范围： 0.2 – 1000 Torr， 精度： 0.3%。
• 225A 差压式压力传感器 (+24V 电源)， 满量程范围： 0.2 – 1000 Torr， 精度： 0.3%。

Micro-Baratron® 薄膜电容式压力传感器

• 890 单端连接式 / 892 气流通过连接式压力传感器， 满量程范围： 1000 Torr – 3000 psi， 精度： 读数值的1%。
• 891 单端连接式 / 893 气流通过连接式压力传感器带压力显示， 满量程范围： 1000 Torr – 3000PSI， 精度： 读数值的 1%。

压力开关

• 41 单端连接式表读压力 / 42 气流通过连接式表读压力 / 51 单端连接式绝对压力 / 52 气流通过连接式绝对压力压力开关， 满量程范围： 10 Torr – 500psi， 精度： 0.5%。

集成 Baratron® 的压力控制器

• πPC90 集成 Baratron® 的压力控制器， 集成压力显示器， 可控制上游或下游压力。 满量程范围： 100 – 2000 Torr， 精度： 读数值的 1%。
• πPC99 集成 Baratron® 的带流量监测的压力控制器， 集成压力/流量显示器， 可控制下游压力。 压力满量程范围： 100 – 2000 Torr， 流量满量程范围： 10 – 5000 SCCM， 精度： 读数值的 1%。


• 640 绝对压力 / 641 表读压力集成 Baratron® 的压力控制器， 可控制上游或下游压力。 满量程范围： 10 – 1000 Torr， 精度： 读数值的 0.5%。
• 649 集成 Baratron® 的带流量监测的压力控制器， 可控制下游压力。 压力满量程范围： 10 – 1000 Torr， 流量满量程范围： 10 – 5000 SCCM， 精度： 读数值的 0.5%。

上游压力控制阀和压力控制器

• 148J 金属密封压力控制阀， 满量程范围： 10 – 3000 SCCM。
• 248A 橡胶密封压力控制阀， 满量程范围： 10 – 5000 SCCM。
• 154A 大流量压力控制阀， 满量程范围： 20 – 200slm。


• 250E 气体压力/流量控制器。 其输入压力或流量信号， 通过 PID 闭环控制模块， 控制压力阀和 (或) 质量流量控制器.

下游压力控制阀和压力控制器

• T3PIA 集成了控制和驱动器的摆式压力控制阀。 其特点是压力控制范围宽， 速度快， 能精确可靠地控制压力。 阀具有良好的低流导甚至阀接近关闭位置的控制能力。 自调谐功能使得阀能最快的响应和最小的过冲。 模拟和数字通讯口可选。 其还具有隔离阀的功能。


• T3BIA 集成了控制和驱动器的蝶式节流阀。 其特点是能快速， 能精确可靠地控制压力。 阀具有良好的低流导甚至阀接近关闭位置的控制能力。 自调谐功能使得阀能最快的响应和最小的过冲。 模拟和数字通讯口可选。


• 253B/653B 蝶式节流阀 /高速蝶式节流阀。 其特点是能快速， 精确， 可靠地控制压力。 各种尺寸接口可选。 可与 651 控制器配套使用。
• 651C 自调谐 /数字PID控制器。 其能控制和驱动253/653节流阀。 自调谐功能优化压力控制参数。

压力传感器/质量流量控制器电源和显示仪

• PDR2000 双通道电源和显示仪。 提供压力传感器电源和压力显示。
• 660B 单通道电源和显示仪。 提供压力传感器电源和压力显示。


• 246C/247D 单/四通道电源和显示仪。 提供质量流量控制器电源， 流量设置和流量显示。
• PR4000 单或双通道电源和显示仪。 提供压力传感器和 (或) 质量流量控制器电源， 流量设置和压力/流量显示。


• 647C 四或八通道电源和显示仪。 提供压力传感器和质量流量控制器电源， 显示一路压力值， 四路或八路流量设置和显示。 PID控制选件可用于由压力信号来控制质量流量控制器或上游控制阀。


• 146C 多达五通道电源和显示仪。 仪器有五个插槽供不同控制板使用。 这些控制板可以是： 压力传感器板、双皮拉尼真空规板、冷阴极离子真空规板、热阴极离子真空规板、质量流量控制器板、PID控制板。

             

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