< % @ P a g e l a n g u a g e = " c # " % > < % @ R e g i s t e r T a g P r e f i x = " u c 1 " T a g N a m e = " H e a d e r " S r c = " . . / . . / H e a d e r . a s c x " % > < % @ R e g i s t e r T a g P r e f i x = " u c 1 " T a g N a m e = " F o o t e r " S r c = " . . / . . / F o o t e r . a s c x " % > < % @ R e g i s t e r T a g P r e f i x = " u c 1 " T a g N a m e = " l e f t n a v " S r c = " . . / . . / p r o d u c t / l e f t n a v c a t e g o r y . a s c x " % > < ! D O C T Y P E H T M L P U B L I C " - / / W 3 C / / D T D H T M L 4 . 0 T r a n s i t i o n a l / / E N " > < H T M L > < H E A D i d = " H e a d 1 " r u n a t = s e r v e r > < t i t l e > T e c h n i q u e s a n d T o o l s t o D e t e c t a n d M e a s u r e A r c s i n D C S p u t t e r i n g A p p l i c a t i o n s < / t i t l e > < M E T A h t t p - e q u i v = " C o n t e n t - T y p e " c o n t e n t = " t e x t / h t m l ; c h a r s e t = w i n d o w s - 1 2 5 2 " > < m e t a c o n t e n t = " M i c r o s o f t V i s u a l S t u d i o . N E T 7 . 1 " n a m e = " G E N E R A T O R " > < m e t a c o n t e n t = " T e c h n i q u e s a n d T o o l s t o D e t e c t a n d M e a s u r e A r c s i n D C S p u t t e r i n g A p p l i c a t i o n s " n a m e = " d e s c r i p t i o n " > < m e t a c o n t e n t = " C # " n a m e = " C O D E _ L A N G U A G E " > < m e t a c o n t e n t = " J a v a S c r i p t " n a m e = " v s _ d e f a u l t C l i e n t S c r i p t " > < m e t a c o n t e n t = " h t t p : / / s c h e m a s . m i c r o s o f t . c o m / i n t e l l i s e n s e / i e 5 " n a m e = " v s _ t a r g e t S c h e m a " > < L I N K h r e f = " . . / . . / m k s . c s s " t y p e = " t e x t / c s s " r e l = " s t y l e s h e e t " / > < / H E A D > < b o d y M S _ P O S I T I O N I N G = " G r i d L a y o u t " > < ! - - D O N O T M O V E ! T h e f o l l o w i n g A l l W e b M e n u s l i n k i n g c o d e s e c t i o n m u s t a l w a y s b e p l a c e d r i g h t A F T E R t h e B O D Y t a g - - > < ! - - * * * * * * * * B E G I N A L L W E B M E N U S C O D E F O R m k s t o p m e n u * * * * * * * * - - > < s c r i p t t y p e = " t e x t / j a v a s c r i p t " > v a r M e n u L i n k e d B y = " A l l W e b M e n u s [ 4 ] " , a w m M e n u N a m e = " m k s t o p m e n u " , a w m B N = " 7 4 2 " ; a w m A l t U r l = " " ; < / s c r i p t > < s c r i p t c h a r s e t = " U T F - 8 " s r c = " . . / . . / m k s t o p m e n u . j s " t y p e = " t e x t / j a v a s c r i p t " > < / s c r i p t > < s c r i p t t y p e = " t e x t / j a v a s c r i p t " > a w m B u i l d M e n u ( ) ; < / s c r i p t > < ! - - * * * * * * * * E N D A L L W E B M E N U S C O D E F O R m k s t o p m e n u * * * * * * * * - - > < f o r m i d = " F o r m 1 " m e t h o d = " p o s t " r u n a t = " s e r v e r " > < u c 1 : h e a d e r i d = " H e a d e r 1 " r u n a t = " s e r v e r " t i t l e = " A u t o F r e q u e n c y T u n i n g - A n I m p e d a n c e M a t c h i n g O p t i o n f o r N o v a R F P l a s m a G e n e r a t o r s f r o m M K S I n s t r u m e n t s " > < / u c 1 : h e a d e r > < d i v c l a s s = " c u r v e " > < i m g s r c = " ~ / i m a g e s / m k s c o r n e r . j p g " r u n a t = " s e r v e r " I D = " I m g 1 " > < / d i v > < u c 1 : l e f t n a v i d = " L e f t n a v 1 " r u n a t = " s e r v e r " C a t e g o r y I D = 4 > < / u c 1 : l e f t n a v > < d i v c l a s s = " m a i n c o n t e n t " > < h 1 > T e c h n i q u e s a n d T o o l s t o D e t e c t a n d M e a s u r e A r c s i n D C S p u t t e r i n g A p p l i c a t i o n s < / h 1 > < h 3 > B y J e f f S e l l e r s , J a m e s S m i t h a n d P a u l M i l l e r < / h 3 > < p > < b > I . I n t r o d u c t i o n < / b > < p > T h e p u r p o s e o f t h i s T e c h N o t e i s t o e s t a b l i s h a n e f f e c t i v e m e t h o d f o r d e t e c t i n g a n d m e a s u r i n g a r c s i n D C s p u t t e r i n g a p p l i c a t i o n s . S p e c i f i c e q u i p m e n t a n d p r o c e d u r e s w i l l b e d i s c u s s e d i n d e t a i l , a n d t y p i c a l r e s u l t s w i l l b e i l l u s t r a t e d a n d e v a l u a t e d . T h e i m p o r t a n t r o l e p l a y e d b y t h e p l a s m a g e n e r a t o r i n a r c d e t e c t i o n a n d s u p p r e s s i o n w i l l a l s o b e e m p h a s i z e d . < p > A s t h e t r e n d t o w a r d s u b m i c r o n f e a t u r e s c o n t i n u e s a n d i m p r o v e d p r o c e s s p e r f o r m a n c e b e c o m e s m o r e c r i t i c a l , t h e r e i s g r o w i n g c o n c e r n o v e r t h e e f f e c t o f a r c s o n p r o c e s s y i e l d . I n m o s t D C s p u t t e r i n g a p p l i c a t i o n s , p a r t i c u l a t e d a m a g e a n d r e d u c e d t a r g e t l i f e h a v e b e e n t r a c e d t o a r c s o c c u r r i n g d u r i n g t h e p r o c e s s . S i n c e p l a s m a g e n e r a t o r s v a r y i n t h e i r a b i l i t y t o d e t e c t a n d c o n t r o l a r c s , i t i s t h e r e f o r e a d v i s a b l e t o i n v e s t i g a t e a n d e v a l u a t e t h e p r e s e n c e o f a r c s i n s p e c i f i c c h a m b e r c o n f i g u r a t i o n s . < p > I f a r c s o c c u r , s t e p s c a n b e t a k e n t o r e d u c e t h e i r f r e q u e n c y a n d m a g n i t u d e . T h e s e s t e p s i n c l u d e i m p r o v e m e n t s i n p r o c e s s a n d c h a m b e r d e s i g n , a n d t h e s e l e c t i o n o f a p l a s m a g e n e r a t o r w i t h i m p r o v e d a r c d e t e c t i o n a n d s u p p r e s s i o n c a p a b i l i t y . < p > A n a r c i s b a s i c a l l y a s h o r t c i r c u i t i n t h e p l a s m a . T o u n d e r s t a n d w h a t t y p i c a l l y h a p p e n s t o c u r r e n t a n d v o l t a g e w h e n a n a r c o c c u r s a n d i s d e t e c t e d b y t h e p l a s m a g e n e r a t o r , r e f e r t o t h e f o l l o w i n g p o i n t s i n F i g u r e 1 : < p a l i g n = " c e n t e r " > < i m g s r c = " . . / . . / i m a g e s / e n i - m e a s u r e 1 . g i f " a l t = " H o w v o l t a g e a n d c u r r e n t a r e a f f e c t e d b y a n a r c " > < b r > < i > F i g u r e 1 : H o w v o l t a g e a n d c u r r e n t a r e a f f e c t e d b y a n a r c . < / i > < p > < b > < i > P o i n t A : < / i > < / b > A s s o o n a s t h e a r c o c c u r s , t h e c u r r e n t r i s e s d r a m a t i c a l l y . A l l t h e e n e r g y w i t h i n t h e p l a s m a a n d o n t h e o u t p u t o f t h e g e n e r a t o r c o l l a p s e s t o a s i n g l e p o i n t . T h e c o r r e s p o n d i n g v o l t a g e ( n o r m a l l y n e g a t i v e ) i n t h i s s h o r t c i r c u i t s i t u a t i o n i m m e d i a t e l y j u m p s t o n e a r z e r o . < p > < b > < i > P o i n t B : < / i > < / b > A s t h e p l a s m a i m p e d a n c e c h a n g e s , t h e c u r r e n t d e c r e a s e s . A t t h i s s t a g e , t h e g e n e r a t o r h a s n o t r e c o g n i z e d t h a t a n a r c h a s o c c u r r e d . T h e g e n e r a t o r c o m p a r e s t h e s e t p o i n t c u r r e n t t o t h e a c t u a l c u r r e n t , d e t e r m i n e s m o r e c u r r e n t i s n e e d e d , a n d b e g i n s t o p u m p m o r e c u r r e n t i n t o t h e a r c . < p > < b > < i > P o i n t C : < / i > < / b > A t t h i s p o i n t , t h e a r c d e t e c t i o n t h r e s h o l d o f t h e g e n e r a t o r h a s b e e n r e a c h e d , t h e p o w e r i s s h u t o f f , a n d t h e c u r r e n t t h e n d e c a y s t o z e r o . T h e a r c d e t e c t i o n t h r e s h o l d w i l l v a r y d e p e n d i n g o n t h e b r a n d a n d m o d e l o f t h e p l a s m a g e n e r a t o r . < p > < b > < i > P o i n t D : < / i > < / b > A r c c u r r e n t h a s b e e n r e d u c e d t o z e r o . T o p r e v e n t a d d i t i o n a l a r c i n g , t h i s l e v e l m u s t b e r e a c h e d b e f o r e t h e p l a s m a i s r e - i g n i t e d . < p > < b > < i > P o i n t E : < / i > < / b > T h e g e n e r a t o r r e - i g n i t e s t h e p l a s m a a f t e r P o i n t D h a s b e e n r e a c h e d . < p > C u r r e n t i s r a m p e d u p g r a d u a l l y t o d e c r e a s e t h e l i k e l i h o o d o f f u r t h e r a r c i n g . W i t h p o w e r b e i n g s u p p l i e d a g a i n t o t h e p l a s m a , t h e v o l t a g e r e t u r n s t o i t s n o r m a l v a l u e . < p > < i m g h e i g h t = 1 s r c = " . . / . . / i m a g e s / d o t 5 . g i f " w i d t h = " 1 0 0 % " > < p > < b > I I . R e c o m m e n d e d E q u i p m e n t & T e s t S e t u p < / b > < p > T h e n e c e s s a r y t o o l s t o d e t e c t a n d m e a s u r e a r c s a r e r e a d i l y a v a i l a b l e f o r p u r c h a s e o r r e n t a l . T h e p r o c e d u r e i n v o l v e s m o n i t o r i n g t h e c u r r e n t a n d v o l t a g e o n t h e c a t h o d e / t a r g e t . T h e c a t h o d e / t a r g e t c o n n e c t i o n s h o u l d b e m o n i t o r e d , b u t n o t t h e r e t u r n c o n n e c t i o n - t h e f u l l a m p l i t u d e m a y n o t b e i d e n t i f i a b l e i n s y s t e m s w h i c h i n c o r p o r a t e m u l t i p l e g r o u n d r e t u r n s . < p > T h e r e c o m m e n d e d t e s t e q u i p m e n t a n d s e t u p f o r d e t e c t i n g a n d m e a s u r i n g a r c s a r e s h o w n i n F i g u r e 2 a n d T a b l e 1 . < p a l i g n = " c e n t e r " > < i m g s r c = " . . / . . / i m a g e s / e n i - m e a s u r e 2 . g i f " a l t = " R e c o m m e n d e d t e s t s e t u p f o r m e a s u r i n g a r c s " > < b r > < i > F i g u r e 2 : R e c o m m e n d e d t e s t s e t u p f o r m e a s u r i n g a r c s . < / i > < p > B e c a u s e t h e s a m p l i n g r a t e i s c r i t i c a l , i t i s i m p o r t a n t t h a t t h e s p e c i f i c e q u i p m e n t l i s t e d ( o r e q u i v a l e n t q u a l i t y m o d e l s ) b e u s e d f o r t h i s p r o c e d u r e . T h e u s e o f s l o w e r o r l e s s s e n s i t i v e e q u i p m e n t m a y n o t p r o d u c e a n a c c u r a t e p i c t u r e o f t h e w a v e f o r m s . < p a l i g n = " c e n t e r " > < t a b l e b o r d e r = " 0 " w i d t h = " 4 0 0 " c e l l p a d d i n g = " 3 " > < t b o d y > < t r > < t d a l i g n = " r i g h t " v a l i g n = " t o p " w i d t h = " 3 0 % " > < b > < i > D i g i t a l S t o r a g e O s c i l l o s c o p e < / i > < / b > < / t d > < t d w i d t h = " 5 0 % " > T e k t r o n i x M o d e l T H S 7 3 0 A , o r e q u i v a l e n t f r o m L e C r o y , H e w l e t t P a c k a r d , e t c . , w i t h m i n i m u m 1 0 0 M e g . s a m p l e p e r s e c o n d / c h a n n e l < / t d > < / t r > < t r > < t d a l i g n = " r i g h t " v a l i g n = " t o p " w i d t h = " 3 0 % " > < b > < i > D a t a C a p t u r e S o f t w a r e < / i > < / b > < / t d > < t d w i d t h = " 5 0 % " > T e k t r o n i x W a v e s t a r s o f t w a r e o r e q u i v a l e n t < / t d > < / t r > < t r > < t d a l i g n = " r i g h t " v a l i g n = " t o p " w i d t h = " 3 0 % " > < b > < i > H i g h V o l t a g e D i f f e r e n t i a l P r o b e < / i > < / b > < / t d > < t d w i d t h = " 5 0 % " > T e k t r o n i x M o d e l # P 5 2 0 0 o r e q u i v a l e n t h i g h b a n d w i d t h m o d e l < / t d > < / t r > < t r > < t d a l i g n = " r i g h t " v a l i g n = " t o p " w i d t h = " 3 0 % " > < b > < i > C u r r e n t P r o b e S y s t e m < / i > < / b > < / t d > < t d w i d t h = " 5 0 % " > T e k t r o n i x M o d e l # A M 5 0 3 S - O p t . 3 ( i n c l u d e s M o d e l A 6 3 0 3 C u r r e n t P r o b e , M o d e l A M 5 0 3 A C u r r e n t P r o b e A m p l i f i e r , a n d M o d e l T M 5 0 2 A P o w e r M o d u l e . T h e s e i t e m s c a n a l s o b e o b t a i n e d i n d i v i d u a l l y . ) < / t d > < / t r > < / t b o d y > < / t a b l e > < b r c l e a r = " a l l " > < i > T a b l e 1 : R e c o m m e n d e d t e s t e q u i p m e n t f o r m e a s u r i n g a r c s . < / i > < p > < i m g h e i g h t = 1 s r c = " . . / . . / i m a g e s / d o t 5 . g i f " w i d t h = " 1 0 0 % " > < p > < b > C a u t i o n : < s p a n s t y l e = " c o l o r : r e d " > < b r > B e c a u s e o f t h e d a n g e r a s s o c i a t e d w i t h h i g h v o l t a g e s , o n l y q u a l i f i e d p e r s o n n e l s h o u l d p e r f o r m t h i s t e s t . M K S E N I a s s u m e s n o r e s p o n s i b i l i t y f o r i n j u r y o r d a m a g e c a u s e d b y m i s u s e o f e q u i p m e n t . < / b > < / s p a n > < p > < i m g h e i g h t = 1 s r c = " . . / . . / i m a g e s / d o t 5 . g i f " w i d t h = " 1 0 0 % " > < p > < b > B e f o r e Y o u B e g i n . . . < / b > < p > R e f e r t o t h e t e s t s e t u p i n F i g u r e 2 a n d n o t e t h e f o l l o w i n g : < o l > < l i > T h e f o l l o w i n g r e c o m m e n d e d m e t h o d u s e s a d i f f e r e n t i a l v o l t a g e p r o b e , w h i c h h a s n o n - g r o u n d e d " f l o a t i n g " p r o b e t i p s f o r s a f e t y r e a s o n s . < / l i > < l i > B e c e r t a i n t h a t t h e c u r r e n t p r o b e i s c o n n e c t e d t o t h e a m p l i f i e r b e f o r e t h e s y s t e m i s p o w e r e d u p , o r t h e p r o b e m a y b e d a m a g e d . < / l i > < l i > B e c e r t a i n t h a t t h e c u r r e n t p r o b e a r r o w p o i n t s a w a y f r o m t h e t a r g e t ( t o w a r d s t h e p l a s m a g e n e r a t o r ) < / l i > . < l i > T h e T e k t r o n i x M o d e l T H S 7 3 0 A S c o p e r e q u i r e s a 5 0 O h m t e r m i n a t i o n . < / l i > < / o l > < p > < i m g h e i g h t = 1 s r c = " . . / . . / i m a g e s / d o t 5 . g i f " w i d t h = " 1 0 0 % " > < p > < b > I I I . S t e p - B y - S t e p P r o c e d u r e < / b > < o l > < l i > P l a c e t h e v o l t a g e p r o b e o n C h a n n e l 1 o f t h e s c o p e . C o n n e c t t h e R e d ( + ) l e a d t o t h e c a t h o d e c o n n e c t i o n a t t h e c h a m b e r . C o n n e c t t h e b l a c k ( - ) l e a d t o t h e a n o d e c o n n e c t i o n a t t h e c h a m b e r . < / l i > < l i > P l a c e t h e c u r r e n t p r o b e o n C h a n n e l 2 o f t h e s c o p e . < / l i > < l i > S e t t h e s c o p e " T i m e B a s e " i n i t i a l l y t o 5 0 m i c r o s e c o n d s / d i v . < / l i > < l i > S e t C h a n n e l 1 t o 2 0 0 V / d i v . ( 2 0 V / d i v . o n 1 0 X p o s i t i o n ) . O n t h e s c o p e , s e t t h e t r a c e f o r t h e v o l t a g e p r o b e t o o n e d i v i s i o n f r o m t h e t o p . < / l i > < l i > S e t t h e t r a c e f o r t h e C u r r e n t p r o b e t o o n e d i v i s i o n f r o m t h e b o t t o m . T h e c u r r e n t a m p l i f i e r s e t t i n g s h o u l d b e 1 0 A / D i v . a n d C h a n n e l 2 s e t f o r 1 0 m v / D i v . U s e t h i s s e t t i n g i n i t i a l l y f o r d e t e c t i n g t h e a r c w a v e f o r m , t h e n a d j u s t t h h e i g h t f o r a f u l l d i s p l a y o f p e a k v a l u e ( i . e . , 5 0 A / D i v . ) . < / l i > < l i > S e t t r i g g e r o n C h a n n e l # 2 ( C u r r e n t ) w i t h a p o s i t i v e g o i n g s l o p e . < / l i > < l i > T u r n o n t h e p l a s m a g e n e r a t o r a n d r u n t h e p r o c e s s . A d j u s t t h e t r i g g e r t o c a p t u r e t h e w a v e f o r m o n t h e r i s i n g e d g e o f t h e c u r r e n t w h e n a n a r c o c c u r s . < / l i > < / o l > < p > < i > < b > N O T E : < / b > S o m e p l a s m a g e n e r a t o r s m a y d e t e c t o n l y h i g h c u r r e n t s p i k e s . T o o b t a i n a g o o d i m a g e , t h e s c o p e s e t t i n g s m u s t b e a d j u s t e d t o o b t a i n a n a r c t h a t t h e p l a s m a g e n e r a t o r i s c a p a b l e o f s e n s i n g . < / i > < p > < i > F o r e v a l u a t i o n o f E N I p l a s m a g e n e r a t o r s , t h e o s c i l l o s c o p e s h o u l d b e s e t t o 1 0 A / d i v . O t h e r g e n e r a t o r s m a y r e q u i r e a d i f f e r e n t s e t t i n g s u c h a s 5 0 A / d i v . T o c o m p a r e d i f f e r e n t g e n e r a t o r s , a d j u s t t h e s c o p e a n d k e e p a r e c o r d o f n e w s e t t i n g s s o t h a t t h e a m p l i t u d e s w i l l h a v e t r u e v a l u e s w h e n m a k i n g o n e - t o - o n e c o m p a r i s o n s . < / i > < p > < i m g h e i g h t = 1 s r c = " . . / . . / i m a g e s / d o t 5 . g i f " w i d t h = " 1 0 0 % " > < p > < b > I V . D i s c u s s i o n O f T y p i c a l A r c W a v e f o r m s < / b > < p > F o l l o w i n g a r e e x a m p l e s o f t h r e e t y p i c a l a r c w a v e f o r m s w h i c h w i l l b e o b s e r v e d i f t h e a b o v e p r o c e d u r e s a r e f o l l o w e d . A s i n F i g u r e 1 , t h e u p p e r w a v e f o r m r e p r e s e n t s v o l t a g e , w h i l e t h e b o t t o m w a v e f o r m r e p r e s e n t s c u r r e n t . I n e v a l u a t i n g t h e a r c w a v e f o r m s , a m p l i t u d e i s t h e m o s t i m p o r t a n t v a r i a b l e t o c o n s i d e r . < p > < b > U n d e t e c t e d A r c W a v e f o r m < / b > < p a l i g n = " c e n t e r " > < i m g s r c = " . . / . . / i m a g e s / e n i - m e a s u r e 3 . j p g " a l t = " U n d e t e c t e d a r c ( f r o m a n o n - E N I p l a s m a g e n e r a t o r ) S e t t i n g s : 2 0 0 V / d i v i s i o n - C h 1 ; 1 0 A / d i v . - C h 2 ; 5 s / d i v . " v s p a c e = " 5 " > < b r > < i > F i g u r e 3 : U n d e t e c t e d a r c ( f r o m a n o n - E N I p l a s m a g e n e r a t o r ) S e t t i n g s : 2 0 0 V / d i v i s i o n - C h 1 ; 1 0 A / d i v . - C h 2 ; 5 s / d i v . < / i > < p > I n t h e e x a m p l e a b o v e , t h e a r c w a s n o t d e t e c t e d b y t h e p l a s m a g e n e r a t o r . C o m p a r i n g t h e c u r r e n t w a v e f o r m o f F i g u r e 3 t o F i g u r e 1 , P o i n t A i s e a s i l y i d e n t i f i e d a t t h e i n s t a n t t h e a r c o c c u r s . T h i s c u r r e n t s p i k e a n d c o r r e s p o n d i n g n o n - z e r o v o l t a g e i n d i c a t e e n e r g y b e i n g d r i v e n i n t o t h e a r c . N o t e t h a t t h e r e i s n o P o i n t C t o i n d i c a t e d e t e c t i o n b y t h e p l a s m a g e n e r a t o r . A l l o f t h e s e o b s e r v a t i o n s i n d i c a t e t h a t a n u n d e t e c t e d a r c o c c u r r e d , a n d t h a t p o t e n t i a l l y d a m a g i n g a r c e n e r g y w a s p r e s e n t . < p > < b > D e t e c t e d A r c W a v e f o r m < / b > < p a l i g n = " c e n t e r " > < i m g s r c = " . . / . . / i m a g e s / e n i - m e a s u r e 4 . j p g " a l t = " D e t e c t e d a r c ( E N I p l a s m a g e n e r a t o r ) S e t t i n g s : 2 0 0 V / d i v . - C h 1 ; 1 0 A / d i v . - C h 2 ; 5 0 s e c / d i v " v s p a c e = " 5 " > < b r > < i > F i g u r e 4 : D e t e c t e d a r c ( E N I p l a s m a g e n e r a t o r ) S e t t i n g s : 2 0 0 V / d i v . - C h 1 ; 1 0 A / d i v . - C h 2 ; 5 0 s e c / d i v . < / i > < p > I n t h e e x a m p l e a b o v e , t h e p l a s m a g e n e r a t o r d e t e c t e d t h e a r c , r e d u c e d t h e c u r r e n t , a n d t h e n r e - i g n i t e d t h e p l a s m a . T h i s w a v e f o r m f o l l o w s m o r e c l o s e l y t h e t y p i c a l a r c w a v e f o r m s h o w n i n F i g u r e 1 . P o i n t s A , C , D a n d E a r e c l e a r l y v i s i b l e , b u t p o i n t B i s n o t a p p a r e n t b e c a u s e o f t h e t i m e v a l u e s e l e c t e d ( s e e F i g u r e 4 ) . I t i s i m p o r t a n t t o n o t e t h a t i n t h i s e x a m p l e , t h e p l a s m a g e n e r a t o r ' s a r c d e t e c t i o n s y s t e m i s c a p a b l e o f d e t e c t i n g t h e a r c , a n d t h e a r c - r e s e t d e l a y t i m e h a s b e e n p r o p e r l y s e t t o a l l o w t h e c u r r e n t l e v e l t o d r o p t o z e r o b e f o r e r e - i g n i t i o n o c c u r s . < p > < b > D e t e c t e d A r c W a v e f o r m w i t h E x p a n d e d T i m e V a l u e < / b > < p a l i g n = " c e n t e r " > < i m g s r c = " . . / . . / i m a g e s / e n i - m e a s u r e 5 . j p g " a l t = " A r c d e t e c t e d w i t h e x p a n d e d t i m e v a l u e ( E N I p l a s m a g e n e r a t o r ) S e t t i n g s : 2 0 0 V / d i v . - C h 1 ; 1 0 A / d i v . - C h 2 ; 5 s e c / d i v " v s p a c e = " 5 " > < b r > < i > F i g u r e 5 : A r c d e t e c t e d w i t h e x p a n d e d t i m e v a l u e ( E N I p l a s m a g e n e r a t o r ) S e t t i n g s : 2 0 0 V / d i v . - C h 1 ; 1 0 A / d i v . - C h 2 ; 5 s e c / d i v . < / i > < p > I n t h e e x a m p l e a b o v e , t h e p l a s m a g e n e r a t o r d e t e c t e d t h e a r c . T h e t i m e v a r i a b l e h a s b e e n " s t r e t c h e d o u t " t o m o r e c l e a r l y s h o w h o w q u i c k l y t h e p l a s m a g e n e r a t o r r e a c t e d t o t h e a r c . E n e r g y f r o m P o i n t C o n w i l l d e c a y i n t o t h e c h a m b e r . A l s o , P o i n t B i s n o w c l e a r l y v i s i b l e . < p > A p l a s m a g e n e r a t o r w i t h f a s t a r c d e t e c t i o n a n d s u p p r e s s i o n w i l l m i n i m i z e a r c e n e r g y a n d d e c r e a s e t h e r e - i g n i t i o n d e l a y t i m e . < p > < b > I f Y o u H a v e P r o b l e m s . . . < / b > < p > I f y o u h a v e d i f f i c u l t y i n o b t a i n i n g a c l e a n w a v e f o r m , c h e c k t h e f o l l o w i n g : < o l s t a r t = " 1 " > < l i > B e c e r t a i n t h a t t h e c u r r e n t p r o b e a r r o w p o i n t s t o t h e g e n e r a t o r . < / l i > < l i > B e c e r t a i n t h a t t h e g e n e r a t o r i s o n a n d t h a t t h e p l a s m a h a s i g n i t e d . < / l i > < / o l > < p > < i m g h e i g h t = 1 s r c = " . . / . . / i m a g e s / d o t 5 . g i f " w i d t h = " 1 0 0 % " > < p > < b > V . C o n c l u s i o n < / b > < p > I n t h i s T e c h N o t e w e h a v e e s t a b l i s h e d a p r o c e d u r e f o r d e t e c t i n g a n d m e a s u r i n g a r c s i n D C s p u t t e r i n g a p p l i c a t i o n s . W e h a v e a l s o i l l u s t r a t e d t h e i m p o r t a n t r o l e t h e p l a s m a g e n e r a t o r p l a y i n d e t e c t i n g a n d s u p p r e s s i n g a r c s . < p > O n c e a r c s i n a g i v e n p l a s m a p r o c e s s h a v e b e e n p r o p e r l y d e t e c t e d a n d m e a s u r e d , s t e p s c a n b e t a k e n t o r e d u c e t h e i r f r e q u e n c y a n d m a g n i t u d e . A l t h o u g h i m p r o v e d m a n u f a c t u r i n g p r o c e s s e s , c h a m b e r d e s i g n , a n d p r o c e s s a p p l i c a t i o n s c a n h e l p t o r e d u c e t h e o c c u r r e n c e o f u n d e s i r e d a r c s , t h e s e l e c t i o n o f a n a r c - s e n s i t i v e p l a s m a g e n e r a t o r w i l l b r i n g a b o u t t h e m o s t s i g n i f i c a n t i m p r o v e m e n t . < p > M K S , E N I P r o d u c t s D C G f a m i l y o f D C p o w e r s u p p l i e s o f f e r s a n u n b e a t a b l e f o r m u l a f o r u l t r a - l o w a r c e n e r g y , f a s t e r a r c d e t e c t i o n , a n d r a p i d a r c r e c o v e r y . B e n e f i t s t o t h e u s e r i n c l u d e e x t e n d e d t a r g e t l i f e , i n c r e a s e d d e p o s i t i o n r a t e s , r e d u c e d p a r t i c u l a t e d e p o s i t s o n t h e s u b s t r a t e a n d i n t h e c h a m b e r , a n d u l t i m a t e l y , i n c r e a s e d p r o c e s s y i e l d . < p > < i > S i n c e 1 9 7 4 , M K S , E N I P r o d u c t s h a s b e e n t h e t e c h n o l o g y a n d m a r k e t l e a d e r i n t h e d e s i g n a n d m a n u f a c t u r e o f R F P l a s m a G e n e r a t o r s f o r p l a s m a e t c h i n g , s p u t t e r i n g a n d d e p o s i t i o n . T h e D C G S e r i e s o f D C p l a s m a p o w e r s u p p l i e s r e f l e c t s t h e a d v a n c e d e x p e r t i s e w h i c h c o m e s o n l y w i t h t h i s e x p e r i e n c e . F o r c o n s i s t e n t l y h i g h - p e r f o r m a n c e R F a n d D C p o w e r s u p p l i e s , r e l y o n M K S E N I P r o d u c t s . < / i > < p > < i m g h e i g h t = 1 s r c = " . . / . . / i m a g e s / d o t 5 . g i f " w i d t h = " 1 0 0 % " > < p > < b > F o r M o r e I n f o r m a t i o n : < / b > < b l o c k q u o t e > < p > < a h r e f = " . . / . . / p r o d u c t / c a t e g o r y . a s p x ? c a t e g o r y I D = 4 " > S e e a n < b > i n d e x o f E N I D C P o w e r G e n e r a t o r s < / b > < / a > < b r > < a h r e f = " . . / U R / E N I a r c k i l l 1 0 0 . a s p x " > L e a r n m o r e a b o u t < b > D C G - 1 0 0 A r c K i l l & # 1 5 3 ; < / b > < / a > < b r > < a h r e f = " . . / U R / E N I a r c k i l l 2 0 0 . a s p x " > L e a r n m o r e a b o u t < b > D C G - 2 0 0 A r c K i l l & # 1 5 3 ; < / b > < / a > < / b l o c k q u o t e > < p > < i m g h e i g h t = 1 s r c = " . . / . . / i m a g e s / d o t 5 . g i f " w i d t h = " 1 0 0 % " > < p > A p p e n d i x < p > T h e f o l l o w i n g p u b l i c a t i o n s p r o v i d e a d d i t i o n a l i n f o r m a t i o n o n a r c i n g : < o l s t a r t = " 1 " > < l i > G l o w D i s c h a r g e P r o c e s s e s : b y B r i a n C h a p m a n , p u b l i s h e d b y J o h n W i l e y & a m p ; S o n s , I n c . , N Y ( 1 9 8 0 ) . < / l i > < l i > G a s e o u s C o n d u c t o r s - T h e o r y a n d E n g i n e e r i n g A p p l i c a t i o n s b y J a m e s D i l l o n C o b i n e , P h . D . , p u b l i s h e d b y D o v e r P u b l i c a t i o n s , I n c . , N e w Y o r k ( 1 9 5 8 ) . < / l i > < l i > E l e c t r i c i t y i n G a s e s b y J . S . T o w n s e n d . P u b l i s h e d b y O x f o r d U n i v e r s i t y P r e s s , N e w Y o r k ( 1 9 1 4 ) . < / l i > < l i > T h i n F i l m P r o c e s s e s , J . L . V o s s e n a n d W . K e r n , E d i t o r s . P u b l i s h e d b y A c a d e m i c P r e s s , N e w Y o r k ( 1 9 7 8 ) . < / l i > < l i > H a n d b o o k o f T h i n F i l m T e c h n o l o g y , L . I . M a i s s e l a n d R . G l a n g , E d i t o r s . P u b l i s h e d b y M a G r a w H i l l ( 1 9 7 0 ) . < / l i > < / o l > < p > < i > T h e a u t h o r s g r a t e f u l l y a c k n o w l e d g e t h e c o n t r i b u t i o n o f M r . B a r r y F e l d m a n o f E l i t e A u t o m a t i o n T e c h n o l o g i e s i n t h e c o m p l e t i o n o f t h i s T e c h N o t e . < / i > < a n a m e = " C o n t a c t " > & n b s p ; < / a > < s p a n > < s p a n i d = " l b l C o n t a c t " > < p > < b > N e e d h e l p ? < / b > < p > C o n t a c t a n A p p l i c a t i o n s S p e c i a l i s t b y < a h r e f = " . . / . . / p r o d u c t / e n i C O N T A C T . a s p x " > < b > s e n d i n g a n e m a i l t o M K S E N I P r o d u c t s < / b > < / a > o r c a l l < b > 5 8 5 - 4 2 7 - 8 3 0 0 < / b > . < / s p a n > < / s p a n > < u c 1 : F o o t e r i d = " F o o t e r 1 " r u n a t = " s e r v e r " > < / u c 1 : F o o t e r > < / d i v > < / f o r m > < / b o d y > < / H T M L >