型号 E27C
工作温度 45℃, 带刻蚀传感器的以太网/模拟 Baratron®刻蚀压力计
E27C 使用了符合工业标准的 627C 作为平台， MKS的工程师在传感器中集成了一个沉积阻挡板， 避免了工艺中相关化学物沉积对传感器探头产生覆盖的问题。 新型的基于以太网的模拟 Baratron® E27C 增添了能与以太网集线器和其它器件进行连接以进行局域网或网络诊断的功能， 而无需将它从主系统中拆卸下来。 与其它 MKS的基于以太网的产品相类似， E27C 压力计包含了嵌入式互联网浏览软件， 使其能够与运行 Windows®的 PC 进行数据通讯。 由于以太网端口与标准模拟通讯端口是以并行方式运行， 因此能在工艺过程中对压力计进行实时的诊断——这为用户执行它们本身的系统分析和解决问题提供了极大的帮助， 对那些不使用以太网的用户， 627C 有一套外部的 LED 指示灯， 能对压力计的工作状态提供直观的， 快速的指示。
例： 型号 E27CXXMYYAZND
|
压力量程（XX） |
采购序列号 |
| 0.1 |
.1 |
| 1 |
01 |
| 2 |
02 |
| 10 |
11 |
| 20 |
21 |
| 100 |
12 |
| 1000 |
13 |
| 压力测量单位 （M） |
| | Torr |
T |
| mbar |
M |
| kPa |
K |
| Pa |
L |
| 装配件（YY） |
| 1/2" OD 管 |
BA |
| 8 VCR® 凹接口 |
CE |
| 8 VCR® 凸接口 |
CF |
| NW 16 KF |
GA |
| NW 25 KF |
GC |
| 8 VCO®凹接口 |
DA |
| 1 1/3" OD mini-Conflat |
HA |
MKS: Power and Reactive Gas, Flow Measurement and Control, Pressure Measurement and Control, Gas Analysis, Control Information and Technology, Vacuum Technology, Leak Detection, Calibration, Integrated Subsystems, Ionization/Static Control, Medical Electronics, Biopharmaceutical