气体分析 Gas Analysis

福立叶变换红外光谱分析仪

• MultiGas™ Purity 气体纯度分析仪。 实时监测 ppb 级气体杂质沾污。
• MultiGas™ 2030 气体分析仪。 实时分析多种气体光谱， 灵敏度可达 ppb 至 ppm 级， 全自动化仪器操作简单， 易于维护， 广泛地用于各行各业。
• MultiGas™ 2030HS 5Hz 高速燃烧气体分析仪。 用于监视诸如汽车， 柴油机， 催化剂等燃烧尾气。 采样频率为 5Hz。


• InDuct™ 红外福立叶变换气体检测器。 其低廉成本， 紧凑体积， 很容易地集成到任何工艺设备作为缺陷检测， 工艺监视和控制及终点检测。


• Process Sense™ 工艺终点检测器。 用于半导体和平板显示器工艺腔等离子清洁工艺的终点检测。

质谱分析仪 – 残余气体分析仪

• MicroVision Plus 产品的技术是基于 MKS 残余气体分析质谱传感头和气体监控系统的核心技术， 利用最先进的射频电路模块和数据采集电路模块， 其拥有卓越的性能， 为要求最严格的应用所需；高稳定的运行、快速和宽范围的动态扫描， 使得工艺偏差和气体成分改变的监测变得很容易。 灵活的输入输出性能， 易与机台和其他传感器连接。 质量数范围： 1-300 可选， 双检测器配置。


• eVision™/eVision™ Plus 基于以太网口的低成本的残余气分析仪。 利用Web浏览器或通过 EasyView 软件方便地操作系统。 eVision： 质量数范围： 1-100， 法拉第检测器配置。 eVisionPlus： 质量数范围： 1-200 可选， 双检测器配置。

工艺监控

• TOOLweb® 工艺和工艺腔环境监测。
• Vision 1000-B™ 真空本底残余气体分析仪。
• Vision 1000-C™ 化学气相沉积 (CVD) 工艺残余气体分析仪。
• Vision 1000-E™ 刻蚀 (Etch) 工艺残余气体分析仪。

• Vision 1000-I™ 离子注入残余气体分析仪。
• Vision 1000-P™ 工艺监控残余气体分析仪。
• 200/300mm Resist-Torr® 光刻胶监测器。
• HPQ2/HPQ2 S 高压残余气体分析仪。

大气压气体分析仪

• Cirrus™ 四极质谱仪。 工作在大气压力下的桌上型四极质谱仪， 可用于在线测量和分析气体及气体组成。