万机仪器（上海）有限公司 服务与技术支持

压力测量与控制产品，诸如Baratron®电容式薄膜压力传感器和节流阀的校准和维修。

流量测量与控制产品，诸如质量流量控制器(MFC)的校准和维修。

ENI®射频/直流电源和射频匹配器维修

ASTeX®远程等离子源产品维修

维修联络：
021-20308221（压力/流量产品）
021-20308287（电源/反应气体发生器产品）
技术应用联络：021-20308280、021-20308288 维修和技术应用联络电邮：mksprc@mksinst.com